美国MKS真空计灵敏度降低原因分析维修

在工程和科学方面，怎么强调测量的重要性都不为过。它们是这两个学科的精髓，我们用它们来解释无法用方程式、表格、图形和图形解释的事物。反过来，这使我们能够比较、对比、重复和定义定义我们世界的明显混乱。
然而，在认识到测量的重要性时，我们还必须接受精度必须与比较/对比/重复/定义的能力齐头并进，同样我们必须承认，在使用MKS真空计时，它们对真空计很敏感。真空计维修工程师需要处理的外部影响范围。例如当真空计灵敏度降低时，我们要找出来原因。 影响MKS真空计的灵敏度/精度/抗损坏性的因素有六个：
1. 用于真空测量的真空计类型
按照灵敏度的顺序，真空计有两种主要类型：(i) 电离和 (ii) 热。这两种类型都被称为“间接”，但它们测量与残余气体分子相关的压力的方式有所不同。电离真空计常用于准确度要求不高的低压测量。它们通过电离气体分子来工作，然后将其加速到检测器，该检测器测量由分子碰撞引起的任何电流。
2. 工作压力范围（包括超高压范围）
真空计的选择取决于对真空计工作原理的理解，它可以测量的压力范围，以及它在所需范围内的精度。这些因素都是由实验确定的，并由经验验证。对于介于 10 毫巴和大气压之间的低（粗）真空范围，波登管、波纹管、有源应变计和电容传感器是合适的。在 10 1 和 10 -3 之间，电容压力计、热电偶或皮拉尼型压力表是合适的。在 10 -3和 10 -9毫巴之间，冷阴极和 Bayard-Alpert 热阴极真空计是合适的（但两者都需要经常“擦拭”用过的分子/电子，然后重新校准）。
3. 温度
已经表明，更高质量的分子往往需要更大的校正因子。对于真空计，这可归因于通常具有较高（热）传导性的较大分子。有许多因素会影响特定气体类型的电导率，包括相互作用效应、比热和调节系数。
第二个温度问题是更普遍的问题：即使压力表设计用于各种温度，但如果温度过高，它们可能会给出错误的读数。如果环境条件处于极端情况（即太热或太冷），则可能会失去“密封性”，从而导致组件腐蚀或损坏。此外，如果在水周围使用仪表，如果暴露在霜/冰中，它可能会爆裂或由于冷凝而变得模糊。
4. 准确度
真空计的准确度取决于许多因素，但一般而言，制造商提供的真空计仅经过“粗略”校准（未应用校正因子），并且在规定范围内可能具有 20% 至 50% 的不确定性. 使用恒定的气体校正因子可以将其提高到 10% 到 20% 之间。但是，如果需要更高的精度，则应在整个压力范围内校准压力表。对于高质量的仪表，根据主要标准在整个范围内针对每种气体类型单独校准，准确度可以提高到 2% 到 5%。
5. 脉动
定期（通常是重复的）超压峰值会导致精度问题并导致仪表损坏。
6. 振动
振动对真空计读数有很多未被重视的影响。事实上，振动（由电机、重型机械、泵和其他旋转设备引起）可能会导致压力表过度磨损，导致读数不准确，并经常在它们不断移动时造成指针机构损坏离零。即使工作正常，振动也会使准确读数变得困难。暴露在连续振动中会导致真空计灵敏度降低。 在凌科，我们被认为是维修MKS新旧真空计的行家。许多较旧的MKS和 Leybold 仪表已经过时，Leybold 或MKS不支持。我们已经为这些旧仪表储备了零件，并且在无法更换新仪表时能够让它们保持运行。如果您的真空计出现了故障，无论是什么品牌的，都可以找我们来维修。我们有三十几位工程师，可以在很短的时间里，修好您的设备。